서울테크노파크

2017년 제6기

MEMS 공정 교육 계획서

2017.06.12

1. 교육 내용 및 일정

◎ 교육목표

- IoT 융합 신기술 인재 양성을 위하여 IoT 핵심요소 중 하나인 MEMS 공정 기술인력 양성 필요

- 이론(2일) + 실습(3일) 과정으로 교육 과정을 수립하고, 실습 위주의 교육을 실행함으로써 FAB 환경에서의 업무 경험 증대

- MEMS 공정(반도체)및 재료의 이해와 장비 교육을 통하여 실무 지식 및 활용능력 향상

- 산학 공용 장비에 대한 홍보 및 교육을 통한 장비 활용도 제고

과 정 명	MEMS 공정 실습 (Inductor 제작 및 평가)
교육정원	18명
교육장소	이론강의 : (재)서울테크노파크 304호 공정실습 : (재)서울테크노파크 FAB, 309호, 310호
수강대상	서울과학기술대학교 거점센터 참여대학 공학계열 재학생
교육기간	2017 . 07 . 03 ~ 2017 . 07 . 07 (5일)
교육내용	○ 반도체 FAB 출입 및 환경 안전교육 ○ MEMS 공정 개론 ○ MEMS 공정 단계별 이론교육 ○ 공정실습 사전 장비교육 ○ Inductor 제작공정 실습 ○ Inductor 측정 실습

◎ 교육 일정

일 자 시 간	3일(이론)	4일(이론)	5일(실습)	6일(실습)	7일(실습)
09:00~10:00	서울TP 이동	서울TP 이동	공정실습 (이론교육)	측정실습	서울TP 이동
10:00~11:00		이론3			AFM 측정실습
			Bottom Electrode Litho.	Inductor Litho.
11:00~12:00	교육소개
	점심				점심
12:00~13:00		점심
	이론1				SEM 측정
13:00~14:00		이론4	점심
				점심
14:00~15:00
	휴식		Hole Etch	Inductor Electro plating	Nano-3D 실습
15:00~16:00	이론2	휴식
					수료증 수여
		청정실 안전교육
16:00~17:00
		교육 시험

*실습의 경우 그룹편성에 따라 교육 프로그램 스케쥴이 변경

◎ 이론교육 강의

시간	강의명
3일 12:30 ~ 14:30	MEMS 공정개론 및 시장동향
3일 15:00 ~ 17:00	Photo Lithography
4일 10:00 ~ 12:00	Deposition
4일 13:00 ~ 15:00	Etching Process